ファクトリ・オートメーション4(2)(31)

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: ファクトリ・オートメーション
• タイトルよみ: ファクトリ オートメーション
• 巻次・部編番号: 4(2)(31)
• 著者・編者: ファクトリ・オートメーション編集委員会 編
• 著者標目: 日本工業出版株式会社 ニホン コウギョウ シュッパン カブシキ ガイシャ ( 00346807 )典拠
• 出版事項: 東京 : 日本工業出版
• 出版年月日等: 1986-02
• 出版年（W3CDTF）: 1986-02
• 刊行巻次・年月次: 1巻1号=1号(1983年8月) - 15巻3号=169号(1997年3月)
• 大きさ: 26cm
• 並列タイトル等: FA FA
• ISSN（掲載誌）: 0914-5478
• ISSN-L（掲載誌）: 0914-5478
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZM11
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による; 欠番: 8巻9号, 9巻6号 別冊号とも
• DOI: 10.11501/2305240; https://doi.org/10.11501/2305240
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/2305240; https://dl.ndl.go.jp/pid/2305240
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
• 製作者: 国立国会図書館
• 製作年（W3CDTF）: 2011-03-31
• 受理日（W3CDTF）: 2011-06-30T18:11:28+09:00
• 記録形式（IMT）: image/jp2
• オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
• デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
• 遠隔複写可否（NDL）: 可
• 所蔵巻次・年月次（所蔵事項）: 1巻1号=1号(1983年8月) - 15巻3号=169号(1997年3月) (欠: 6,20,21,36,45号)
• 請求記号: Z14-1326
• 原資料（JPNO）: 00065309
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/2385570; https://dl.ndl.go.jp/pid/2385570
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

• DOI: 10.11501/2305240; https://doi.org/10.11501/2305240
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/2305240; https://dl.ndl.go.jp/pid/2305240
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（障害者向け資料：レベル2）: プレーンテキスト
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
• 製作者: 国立国会図書館
• 製作年（W3CDTF）: 2011-03-31
• 受理日（W3CDTF）: 2011-06-30T18:11:28+09:00
• 記録形式（IMT）: image/jp2
• オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
• デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
• 遠隔複写可否（NDL）: 可
• 所蔵巻次・年月次（所蔵事項）: 1巻1号=1号(1983年8月) - 15巻3号=169号(1997年3月) (欠: 6,20,21,36,45号)
• 請求記号: Z14-1326
• 原資料（JPNO）: 00065309
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/2385570; https://dl.ndl.go.jp/pid/2385570
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

目次

クリーン化技術の動向

半導体製造用クリーンルーム

ウェハー自動搬送システム

クリーンルーム内の移載ロボット

クリーン環境用リニアアクチュエータ