アフターグロー法で形成したa-SiNx:H膜の内部応力発生と制御

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: アフターグロー法で形成したa-SiNx:H膜の内部応力発生と制御
• タイトルよみ: アフターグローホウ デ ケイセイシタ a-SiNx : Hマク ノ ナイブ オウリョク ハッセイ ト セイギョ
• 著者・編者: 永吉浩 [著]
• 著者標目: 永吉, 浩, 1961- ナガヨシ, ヒロシ, 1961- ( 00877518 )典拠
• 授与機関名: 東京農工大学
• 授与年月日: 平成5年3月25日
• 授与年月日（W3CDTF）: 1993
• 報告番号: 甲第50号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-93-M225
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000261806; http://id.ndl.go.jp/bib/000000261806
• 整理区分コード: 213

目次

目次

第1章 序論

1-1 本研究の歴史的背景(応力に関する従来の研究)

1-2 本研究の目的と概要

第2章 各種成膜法によるa-SiNx:H膜の堆積と膜質の比較