反応性イオンエッチング特性に及ぼす装置構造とエッチングパラメータの影響
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
<目次>
p1
第1章 序論
p1
第2章 RIEの原理とプロセスの概要
p5
2.1 RIEの原理
p5
2.2 RIE装置の概要
p8
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ハンノウセイ イオン エッチング トクセイ ニ オヨボス ソウチ コウゾウ ト エッチング パラメータ ノ エイキョウ
- 著者・編者
- 塚田勉 [著]
- 著者標目
- 塚田, 勉 ツカダ, ツトム
- 授与機関名
- 東京大学
- 授与年月日
- 平成5年12月9日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1993
- 報告番号
- 乙第11521号
- 学位
- 博士 (工学)