(100)Si基板上のSi[1-x]Ge[x]膜の成長と電気的特性
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1章 序論
p1
1.1 半導体の歴史的経緯
p2
1.2 [化学式]/Siヘテロ構造
p5
1.3 本研究の目的
p10
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- (100)Si キバンジョウ ノ Si1-xGexマク ノ セイチョウ ト デンキテキ トクセイ
- 著者・編者
- 林賢一 [著]
- 著者標目
- 林, 賢一 ハヤシ, ケンイチ
- 授与機関名
- 名古屋大学
- 授与年月日
- 平成7年3月27日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1995
- 報告番号
- 甲第3226号
- 学位
- 博士 (工学)