シリコン(110)表面の原子構造の観察と制御に関する研究
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- シリコン (110) ヒョウメン ノ ゲンシ コウゾウ ノ カンサツ ト セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 安東秀 [著]
- 著者標目
- 安, 東秀 アン, トウシュウ
- 授与機関名
- 豊田工業大学
- 授与年月日
- 平成12年3月16日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 2000
- 報告番号
- 甲第14号
- 学位
- 博士 (工学)