電総研ニュース (422)
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目次
提供元:国立国会図書館デジタルコレクションヘルプページへのリンク
四極子電子ビーム露光装置の開発--光素子パターン描画用電子ビーム露光装置の試作
p1~6
量子を利用する新デバイスーフラクソンデバイス--ジョセフソンサンプラにより基本動作を確認
p6~12
山囗労働大臣一行来所
p12~12
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書誌情報
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- 資料種別
- 雑誌
- タイトル
- タイトルよみ
- デンソウケン ニュース
- 巻次・部編番号
- (422)
- 著者・編者
- 工業技術院電子技術総合研究所 編
- 著者標目
- 工業技術院電子技術総合研究所 コウギョウ ギジュツイン デンシ ギジュツ ソウゴウ ケンキュウジョ ( 00288079 )典拠
- 出版年月日等
- 1985-03
- 出版年(W3CDTF)
- 1985-03
- 出版表示等に関する注記
- 出版地の変更ありv. 612からv. 614までの出版者: 電子技術総合研究所