イオン打ち込みのモンテカルロ・シミュレーション
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国立国会図書館デジタルコレクション
書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 石谷亨
- 出版事項
- 出版年月日等
- 1990
- 出版年（W3CDTF）
- 1990
- 並列タイトル等
- Monte Carlo simulations for ion implantation
- タイトル（掲載誌）
- 表面科学 : 日本表面科学会誌
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 11(10)
- 掲載巻
- 11(10)