超精密・超微細加工を実現するELID研削法

• 資料種別: 記事
• タイトル: 超精密・超微細加工を実現するELID研削法
• 著者・編者: 大森整; 山形豊; 守安精
• 出版事項: 日本 : 日本表面科学会
• 出版年月日等: 2001-03
• 出版年（W3CDTF）: 2001-03
• 並列タイトル等: ELID-grinding technique realizing ultraprecision and ultrafine fabrication
• タイトル（掲載誌）: 表面科学 : 日本表面科学会誌
• 巻号年月日等（掲載誌）: 22(3)
• 掲載巻: 22(3)
• 本文の言語コード: jpn
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/8327058; https://dl.ndl.go.jp/pid/8327058
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• 収集根拠: インターネット資料収集保存事業（WARP）
• 受理日（W3CDTF）: 2013-10-19T02:33:07+09:00
• 保存日（W3CDTF）: 2008-01-26
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（URI）: https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/274949/www-surface.phys.s.u-tokyo.ac.jp/sssj/Vol22/22-03/hy22_03.html
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/8327054; https://dl.ndl.go.jp/pid/8327054
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp