酸素プラズマ中でのSi表面水素の挙動

• 資料種別: 記事
• タイトル: 酸素プラズマ中でのSi表面水素の挙動
• 著者・編者: 篠原正典; 片桐輝昭; 岩辻圭太郎
• 出版事項: 日本 : 日本表面科学会
• 出版年月日等: 2004-09
• 出版年（W3CDTF）: 2004-09
• 並列タイトル等: Behavior of Si surface hydrogen in oxygen plasma
• タイトル（掲載誌）: 表面科学 : 日本表面科学会誌
• 巻号年月日等（掲載誌）: 25(9)
• 掲載巻: 25(9)
• 本文の言語コード: jpn
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/8327550; https://dl.ndl.go.jp/pid/8327550
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
• 収集根拠: インターネット資料収集保存事業（WARP）
• 受理日（W3CDTF）: 2013-10-19T02:33:07+09:00
• 保存日（W3CDTF）: 2008-01-26
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（URI）: https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/274949/www-surface.phys.s.u-tokyo.ac.jp/sssj/Vol25/25-09/25-09.htm
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/8327547; https://dl.ndl.go.jp/pid/8327547
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp