スパッタリング法で形成したAl合金膜表面のFE-SEM

• 資料種別: 記事
• タイトル: スパッタリング法で形成したAl合金膜表面のFE-SEM
• 出版事項: 日本 : 日立金属
• 出版年月日等: 2011-02
• 出版年（W3CDTF）: 2011-02
• タイトル（掲載誌）: 日立金属技報
• 巻号年月日等（掲載誌）: (27)
• 掲載巻: (27)
• 本文の言語コード: jpn
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/8710384; https://dl.ndl.go.jp/pid/8710384
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
• 収集根拠: インターネット資料収集保存事業（WARP）
• 受理日（W3CDTF）: 2014-07-22T21:10:11+09:00
• 保存日（W3CDTF）: 2011-11-20
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（URI）: https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/3012076/www.hitachi-metals.co.jp/rad/rad02_2011.html
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/8710383; https://dl.ndl.go.jp/pid/8710383
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp