先端LSIプロセスの技術動向

• 資料種別: 記事
• タイトル: 先端LSIプロセスの技術動向
• 著者・編者: 犬石昌秀
• 出版事項: 日本 : 三菱電機エンジニアリング
• 出版年月日等: 2001-03
• 出版年（W3CDTF）: 2001-03
• タイトル（掲載誌）: 三菱電機技報
• 巻号年月日等（掲載誌）: 75(3)
• 掲載巻: 75(3)
• 本文の言語コード: jpn
• 国立国会図書館永続的識別子: info:ndljp/pid/9220326; https://dl.ndl.go.jp/pid/9220326
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > その他; https://dl.ndl.go.jp/collections/B00035
• 収集根拠: インターネット資料収集保存事業（WARP）
• 受理日（W3CDTF）: 2015-04-09T21:33:13+09:00
• 保存日（W3CDTF）: 2005-09-27
• 記録形式（IMT）: application/pdf
• オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
• デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
• 遠隔複写可否（NDL）: 不可
• 掲載誌（URI）: https://warp.da.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/260674/www.mitsubishielectric.co.jp/giho/0103/0103.html
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/9220324; https://dl.ndl.go.jp/pid/9220324
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp