SUPERCONDUCTING MAGNET PROGRAM FOR X-RAY LITHOGRAPHY SOURCE AT BROOKHAVEN NATIONAL LABORATORY (BNL ; BNL-46475)

SUPERCONDUCTING MAGNET PROGRAM FOR X-RAY LITHOGRAPHY SOURCE AT BROOKHAVEN NATIONAL LABORATORY

(BNL ; BNL-46475)

著者: HSIEH, H.// BLUMBERG, R.// HEESE, R.// MURPHY, J.// PJEROV, S.// SHARMA, S.// LEUNG, E.M.W.// KALSI, S.// REUSCH, M.F. (BROOKHAVEN NATIONAL LAB., UPTON, NY (UNITED STATES))

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資料種別: 図書
タイトル: SUPERCONDUCTING MAGNET PROGRAM FOR X-RAY LITHOGRAPHY SOURCE AT BROOKHAVEN NATIONAL LABORATORY
著者・編者: HSIEH, H.// BLUMBERG, R.// HEESE, R.// MURPHY, J.// PJEROV, S.// SHARMA, S.// LEUNG, E.M.W.// KALSI, S.// REUSCH, M.F. (BROOKHAVEN NATIONAL LAB., UPTON, NY (UNITED STATES))
シリーズタイトル: BNL ; BNL-46475
著者標目: HSIEH, H.
BLUMBERG, R.
HEESE, R.
MURPHY, J.
PJEROV, S.
SHARMA, S.
LEUNG, E.M.W.
KALSI, S.
REUSCH, M.F.
出版事項: Brookhaven National Laboratory(Brookhaven National Laboratory)
出版年月日等: 1991.
出版年（W3CDTF）: 1991
数量: 4
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/