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Comparison of pulsed electron beam-annealed and pulsed ruby laser-annealed ion-implanted silicon (CONF ; CONF-781113-24)

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Comparison of pulsed electron beam-annealed and pulsed ruby laser-annealed ion-implanted silicon

(CONF ; CONF-781113-24)

資料種別
図書
著者
S.R. Wilson [et al.]
出版者
Oak Ridge National Lab.
出版年
1978.11.
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料種別
図書
著者・編者
S.R. Wilson [et al.]
シリーズタイトル
著者標目
出版年月日等
1978.11.
出版年(W3CDTF)
1978
出版地(国名コード)
us
本文の言語コード
eng