FORMATION OF ALUMINUM FILMS ON SILICON BY ION BEAM DEPOSITION: A COMPARISON WITH IONIZED CLUSTER BEAM DEPOSITION (CONF ; CONF-900936-12)

FORMATION OF ALUMINUM FILMS ON SILICON BY ION BEAM DEPOSITION: A COMPARISON WITH IONIZED CLUSTER BEAM DEPOSITION

(CONF ; CONF-900936-12)

著者: ZUHR, R.A.// HAYNES, T.E.// GALLOWAY, M.D.// TANAKA, S.// YAMADA, A.// YAMADA, I. (OAK RIDGE NATIONAL LAB., TN (USA))

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資料種別: 図書
タイトル: FORMATION OF ALUMINUM FILMS ON SILICON BY ION BEAM DEPOSITION: A COMPARISON WITH IONIZED CLUSTER BEAM DEPOSITION
著者・編者: ZUHR, R.A.// HAYNES, T.E.// GALLOWAY, M.D.// TANAKA, S.// YAMADA, A.// YAMADA, I. (OAK RIDGE NATIONAL LAB., TN (USA))
シリーズタイトル: CONF ; CONF-900936-12
著者標目: ZUHR, R.A.
HAYNES, T.E.
GALLOWAY, M.D.
TANAKA, S.
YAMADA, A.
YAMADA, I.
出版年月日等: 1990.
出版年（W3CDTF）: 1990
数量: 13
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/