SYNTHESIS OF (SIC)/SUB 3/N/SUB 4/ THIN FILMS BY ION IMPLANTATION (CONF ; CONF-931108-74)

SYNTHESIS OF (SIC)/SUB 3/N/SUB 4/ THIN FILMS BY ION IMPLANTATION

(CONF ; CONF-931108-74)

著者: USLU, C.// LEE, D.H.// BERTA, Y.// PARK, B.// THADHANI, N.N.// POKER, D.B. (OAK RIDGE NATIONAL LAB., TN (UNITED STATES))

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資料種別: 図書
タイトル: SYNTHESIS OF (SIC)/SUB 3/N/SUB 4/ THIN FILMS BY ION IMPLANTATION
著者・編者: USLU, C.// LEE, D.H.// BERTA, Y.// PARK, B.// THADHANI, N.N.// POKER, D.B. (OAK RIDGE NATIONAL LAB., TN (UNITED STATES))
シリーズタイトル: CONF ; CONF-931108-74
著者標目: USLU, C.
LEE, D.H.
BERTA, Y.
PARK, B.
THADHANI, N.N.
POKER, D.B.
出版年月日等: 1993.
出版年（W3CDTF）: 1993
数量: 6
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/