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A device for radiation doping of silicon crystals (CS PATENT APPLICATION ; CS PATENT APPLICATION PV 3027-88.Z)

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A device for radiation doping of silicon crystals

(CS PATENT APPLICATION ; CS PATENT APPLICATION PV 3027-88.Z)

資料種別
図書
著者
Belohradsky, L.ほか
出版者
Oak Ridge National Lab., TN (USA)(Oak Ridge National Lab., TN (USA))
出版年
1990.
資料形態
ページ数・大きさ等
4 p.
NDC
-
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資料種別
図書
出版年月日等
1990.
出版年(W3CDTF)
1990
数量
4 p.
出版地(国名コード)
cs
本文の言語コード
cze