COMPACT X-RAY LITHOGRAPHY LATTICE USING SUPERFERRIC MAGNETS. (DOE ; DOE/ER/40374-21)

COMPACT X-RAY LITHOGRAPHY LATTICE USING SUPERFERRIC MAGNETS.

(DOE ; DOE/ER/40374-21)

著者: SWENSON, C.A.// HUSON, F.R.// MACKAY, W.W.// CHEN, L.K.// OHNUMA, S. (TEXAS ACCELERATOR CENTER, THE WOODLANDS, TX (USA))

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資料種別: 図書
タイトル: COMPACT X-RAY LITHOGRAPHY LATTICE USING SUPERFERRIC MAGNETS.
著者・編者: SWENSON, C.A.// HUSON, F.R.// MACKAY, W.W.// CHEN, L.K.// OHNUMA, S. (TEXAS ACCELERATOR CENTER, THE WOODLANDS, TX (USA))
シリーズタイトル: DOE ; DOE/ER/40374-21
著者標目: SWENSON, C.A.
HUSON, F.R.
MACKAY, W.W.
CHEN, L.K.
OHNUMA, S.
出版事項: United States. Dept. of Energy(United States. Dept. of Energy)
出版年月日等: 1989.
出版年（W3CDTF）: 1989
数量: 3
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/