ATTACHMENT-INDUCED IONIZATION INSTABILITY IN ELECTRONEGATIVE CAPACITIVE RF DISCHARGES (LRP ; LRP-751/03)

ATTACHMENT-INDUCED IONIZATION INSTABILITY IN ELECTRONEGATIVE CAPACITIVE RF DISCHARGES

(LRP ; LRP-751/03)

資料種別: 図書

著者: DESCOEUDRES, A./SANSONNENS, L.

出版者: -

出版年: 2003.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 11

NDC: -

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資料種別: 図書
タイトル: ATTACHMENT-INDUCED IONIZATION INSTABILITY IN ELECTRONEGATIVE CAPACITIVE RF DISCHARGES
著者・編者: DESCOEUDRES, A./SANSONNENS, L.
シリーズタイトル: LRP ; LRP-751/03
著者標目: DESCOEUDRES, A.
SANSONNENS, L.
出版年月日等: 2003.
出版年（W3CDTF）: 2003
数量: 11
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/

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