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高周波スパッタリング法による二硫化モリブデン膜の潤滑特性に関する研究 (NAL ; NAL-TR-903)

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高周波スパッタリング法による二硫化モリブデン膜の潤滑特性に関する研究

(NAL ; NAL-TR-903)

資料種別
図書
著者
西村 允、野坂 正隆
出版者
航空宇宙技術研究所(コウクウ ウチュウ ギジュツ ケンキュウジョ)
出版年
1986.
資料形態
ページ数・大きさ等
62
NDC
-
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資料種別
図書
著者・編者
西村 允、野坂 正隆
シリーズタイトル
出版年月日等
1986.
出版年(W3CDTF)
1986
数量
62
出版地(国名コード)
ja