PROCESS RESEARCH ON SEMIX SILICON MATERIALS (PROSSM) QUARTERLY REPORT, 1 DEC. 1981 - 28 FEB. 1982 (NASA ; NASA-CR-169049; N82-26794)

PROCESS RESEARCH ON SEMIX SILICON MATERIALS (PROSSM) QUARTERLY REPORT, 1 DEC. 1981 - 28 FEB. 1982

(NASA ; NASA-CR-169049; N82-26794)

出版者: National Aeronautics and Space Administration(National Aeronautics and Space Administration)

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資料種別: 図書
タイトル: PROCESS RESEARCH ON SEMIX SILICON MATERIALS (PROSSM) QUARTERLY REPORT, 1 DEC. 1981 - 28 FEB. 1982
著者・編者: WOHLGEMUTH,J.H.
シリーズタイトル: NASA ; NASA-CR-169049; N82-26794
著者標目: WOHLGEMUTH,J.H.
出版事項: National Aeronautics and Space Administration(National Aeronautics and Space Administration)
数量: 28
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/