Results of the Monte Carlo calculation of one- and two-dimensional distributions of particles and damage: ion-implanted dopants in silicon. Special Pub. (Final) (NBS/SP ; NBS/SP-400/79)

Results of the Monte Carlo calculation of one- and two-dimensional distributions of particles and damage: ion-implanted dopants in silicon. Special Pub. (Final)

(NBS/SP ; NBS/SP-400/79)

資料種別: 図書

著者: Albers, J.

出版者: National Engineering Lab. (NBS), Washington, DC (USA)(National Engineering Lab. (NBS), Washington, DC (USA))

出版年: 1987.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 675 p.

NDC: -

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資料種別: 図書
タイトル: Results of the Monte Carlo calculation of one- and two-dimensional distributions of particles and damage: ion-implanted dopants in silicon. Special Pub. (Final)
シリーズタイトル: NBS/SP ; NBS/SP-400/79
著者標目: Albers, J.
出版事項: National Engineering Lab. (NBS), Washington, DC (USA)(National Engineering Lab. (NBS), Washington, DC (USA))
出版年月日等: 1987.
出版年（W3CDTF）: 1987
数量: 675 p.
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/