ROLE OF POINT DEFECTS AND DEFECT COMPLEXES IN SILICON DEVICE PROCESSING (NREL ; NREL/TP-413-7061)

ROLE OF POINT DEFECTS AND DEFECT COMPLEXES IN SILICON DEVICE PROCESSING

(NREL ; NREL/TP-413-7061)

著者: SOPORI, B.// TAN, T.Y. (NATIONAL RENEWABLE ENERGY LAB., GOLDEN, CO (UNITED STATES))

出版者: National Renewable Energy Laboratory(National Renewable Energy Laboratory)

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資料種別: 図書
タイトル: ROLE OF POINT DEFECTS AND DEFECT COMPLEXES IN SILICON DEVICE PROCESSING
著者・編者: SOPORI, B.// TAN, T.Y. (NATIONAL RENEWABLE ENERGY LAB., GOLDEN, CO (UNITED STATES))
シリーズタイトル: NREL ; NREL/TP-413-7061
著者標目: SOPORI, B.
TAN, T.Y.
出版事項: National Renewable Energy Laboratory(National Renewable Energy Laboratory)
出版年月日等: 1994.
出版年（W3CDTF）: 1994
数量: 118
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/