FUNDAMENTAL STUDIES OF DEFECT GENERATION IN AMORPHOUS SILICON ALLOYS GROWN BY REMOTE PLASMA-ENHANCED CHEMICAL-VAPOR DEPOSITION (REMOTE PECVD) (NREL ; NREL/TP-451-4852)

FUNDAMENTAL STUDIES OF DEFECT GENERATION IN AMORPHOUS SILICON ALLOYS GROWN BY REMOTE PLASMA-ENHANCED CHEMICAL-VAPOR DEPOSITION (REMOTE PECVD)

(NREL ; NREL/TP-451-4852)

資料種別: 図書

著者: LUCOVSKY, G.// NEMANICH, R.J.// BERNHOLC, J.// WHITTEN, J.// WANG, C.// DAVIDSON, B.// WILLIAMS, M.// LEE, D.// BJORKMAN, C.// JING, Z. (NATIONAL RENEWABLE ENERGY LAB., GOLDEN, CO (UNITED STATES)// NORTH CAROLINA STATE UNIV., RALEIGH, NC (UNITED STATES))

出版者: National Renewable Energy Laboratory(National Renewable Energy Laboratory)

出版年: 1993.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 58

NDC: -

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資料種別: 図書
タイトル: FUNDAMENTAL STUDIES OF DEFECT GENERATION IN AMORPHOUS SILICON ALLOYS GROWN BY REMOTE PLASMA-ENHANCED CHEMICAL-VAPOR DEPOSITION (REMOTE PECVD)
著者・編者: LUCOVSKY, G.// NEMANICH, R.J.// BERNHOLC, J.// WHITTEN, J.// WANG, C.// DAVIDSON, B.// WILLIAMS, M.// LEE, D.// BJORKMAN, C.// JING, Z. (NATIONAL RENEWABLE ENERGY LAB., GOLDEN, CO (UNITED STATES)// NORTH CAROLINA STATE UNIV., RALEIGH, NC (UNITED STATES))
シリーズタイトル: NREL ; NREL/TP-451-4852
著者標目: LUCOVSKY, G.
NEMANICH, R.J.
BERNHOLC, J.
WHITTEN, J.
WANG, C.
DAVIDSON, B.
WILLIAMS, M.
LEE, D.
BJORKMAN, C.
JING, Z.
NORTH CAROLINA STATE UNIV., RALEIGH, NC
出版事項: National Renewable Energy Laboratory(National Renewable Energy Laboratory)
出版年月日等: 1993.
出版年（W3CDTF）: 1993
数量: 58
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/