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Application of image analysis for infrared microspectroscopic detection of contaminants on microelectronic devices (SAND ; SAND-88-3403C; CONF-890674-4; DE89015393)

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Application of image analysis for infrared microspectroscopic detection of contaminants on microelectronic devices

(SAND ; SAND-88-3403C; CONF-890674-4; DE89015393)

資料種別
図書
著者
Ward, K.J.
出版者
Sandia National Labs.
出版年
1989.1.
資料形態
ページ数・大きさ等
11p
NDC
-
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資料種別
図書
著者・編者
Ward, K.J.
著者標目
出版年月日等
1989.1.
出版年(W3CDTF)
1989
数量
11p
出版地(国名コード)
us