EVALUATION OF SURFACE ANALYSIS METHODS FOR CHARACTERIZATION OF TRACE METAL SURFACE CONTAMINANTS FOUND IN SILICON IC MANUFACTURING (SAND ; SAND-91-1083C)

EVALUATION OF SURFACE ANALYSIS METHODS FOR CHARACTERIZATION OF TRACE METAL SURFACE CONTAMINANTS FOUND IN SILICON IC MANUFACTURING

(SAND ; SAND-91-1083C)

資料種別: 図書

著者: DIEBOLD, A.C.// MAILLOT, P.// GORDON, M.// BAYLIS, J.// CHACON, J.// WITOWSKI, R.// ARLINGHAUS, H.// KNAPP, J.A.// DOYLE, B.L. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES))

出版者: Sandia National Laboratories(Sandia National Laboratories)

出版年: 1991.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 21

NDC: -

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資料種別: 図書
タイトル: EVALUATION OF SURFACE ANALYSIS METHODS FOR CHARACTERIZATION OF TRACE METAL SURFACE CONTAMINANTS FOUND IN SILICON IC MANUFACTURING
著者・編者: DIEBOLD, A.C.// MAILLOT, P.// GORDON, M.// BAYLIS, J.// CHACON, J.// WITOWSKI, R.// ARLINGHAUS, H.// KNAPP, J.A.// DOYLE, B.L. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES))
シリーズタイトル: SAND ; SAND-91-1083C
著者標目: DIEBOLD, A.C.
MAILLOT, P.
GORDON, M.
BAYLIS, J.
CHACON, J.
WITOWSKI, R.
ARLINGHAUS, H.
KNAPP, J.A.
DOYLE, B.L.
出版事項: Sandia National Laboratories(Sandia National Laboratories)
出版年月日等: 1991.
出版年（W3CDTF）: 1991
数量: 21
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/