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EFFECT OF CU AT AL GRAIN BOUNDARIES ON ELECTROMIGRATION BEHAVIOR IN AL THIN FILMS (SAND ; SAND-91-1922C)

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EFFECT OF CU AT AL GRAIN BOUNDARIES ON ELECTROMIGRATION BEHAVIOR IN AL THIN FILMS

(SAND ; SAND-91-1922C)

資料種別
図書
著者
FREAR, D.R.// MICHAEL, J.R.// ROMIG, A.D. JR.// KIM, C.// MORRIS, J.W. JR. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES))
出版者
Sandia National Laboratories(Sandia National Laboratories)
出版年
1991.
資料形態
ページ数・大きさ等
11
NDC
-
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資料種別
図書
著者・編者
FREAR, D.R.// MICHAEL, J.R.// ROMIG, A.D. JR.// KIM, C.// MORRIS, J.W. JR. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES))
シリーズタイトル
出版年月日等
1991.
出版年(W3CDTF)
1991
数量
11
出版地(国名コード)
us