CHARACTERIZATION OF NI ON SI WAFERS: COMPARISON OF SURFACE ANALYSIS TECHNIQUES (SAND ; SAND-93-0651C)

CHARACTERIZATION OF NI ON SI WAFERS: COMPARISON OF SURFACE ANALYSIS TECHNIQUES

(SAND ; SAND-93-0651C)

著者: CALAWAY, W.F.// COON, S.R.// PELLIN, M.J.// GRUEN, D.M.// GORDON, M.// DIEBOLD, A.C.// MAILLOT, P.// BANKS, J.C.// KNAPP, J.A. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES)// ARGONNE NATIONAL LAB., IL (UNITED STATES))

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資料種別: 図書
タイトル: CHARACTERIZATION OF NI ON SI WAFERS: COMPARISON OF SURFACE ANALYSIS TECHNIQUES
著者・編者: CALAWAY, W.F.// COON, S.R.// PELLIN, M.J.// GRUEN, D.M.// GORDON, M.// DIEBOLD, A.C.// MAILLOT, P.// BANKS, J.C.// KNAPP, J.A. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES)// ARGONNE NATIONAL LAB., IL (UNITED STATES))
シリーズタイトル: SAND ; SAND-93-0651C
著者標目: CALAWAY, W.F.
COON, S.R.
PELLIN, M.J.
GRUEN, D.M.
GORDON, M.
DIEBOLD, A.C.
MAILLOT, P.
BANKS, J.C.
KNAPP, J.A.
ARGONNE NATIONAL LAB., IL
出版事項: Sandia National Laboratories(Sandia National Laboratories)
出版年月日等: 1993.
出版年（W3CDTF）: 1993
数量: 28
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/