MICROMACHINED ACTUATOR AND SENSOR CAPABILITIES AT THE MICROELECTRONICS DEVELOPMENT LABORATORY. (SAND ; SAND-93-0816C)

MICROMACHINED ACTUATOR AND SENSOR CAPABILITIES AT THE MICROELECTRONICS DEVELOPMENT LABORATORY.

(SAND ; SAND-93-0816C)

著者: SNIEGOWSKI, J.J.// BLAIN, M.G.// FLEMING, J.G.// GARCIA, E.J.// KOEHLER, D.R.// SMITH, B.K.// SMITH, J.H. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES))

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資料種別: 図書
タイトル: MICROMACHINED ACTUATOR AND SENSOR CAPABILITIES AT THE MICROELECTRONICS DEVELOPMENT LABORATORY.
著者・編者: SNIEGOWSKI, J.J.// BLAIN, M.G.// FLEMING, J.G.// GARCIA, E.J.// KOEHLER, D.R.// SMITH, B.K.// SMITH, J.H. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES))
シリーズタイトル: SAND ; SAND-93-0816C
著者標目: SNIEGOWSKI, J.J.
BLAIN, M.G.
FLEMING, J.G.
GARCIA, E.J.
KOEHLER, D.R.
SMITH, B.K.
SMITH, J.H.
出版事項: Sandia National Laboratories(Sandia National Laboratories)
出版年月日等: 1993.
出版年（W3CDTF）: 1993
数量: 5
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/