DETERMINATION OF BPSG THIN-FILM PROPERTIES USING IR REFLECTION SPECTROSCOPY OF PRODUCT WAFERS (SAND ; SAND-93-1635C)

DETERMINATION OF BPSG THIN-FILM PROPERTIES USING IR REFLECTION SPECTROSCOPY OF PRODUCT WAFERS

(SAND ; SAND-93-1635C)

著者: NIEMCZYK, T.M.// FRANKE, J.E.// ZHANG, LIZHONG// HAALAND, D.M.// RADIGAN, K.J. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES))

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資料種別: 図書
タイトル: DETERMINATION OF BPSG THIN-FILM PROPERTIES USING IR REFLECTION SPECTROSCOPY OF PRODUCT WAFERS
著者・編者: NIEMCZYK, T.M.// FRANKE, J.E.// ZHANG, LIZHONG// HAALAND, D.M.// RADIGAN, K.J. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES))
シリーズタイトル: SAND ; SAND-93-1635C
著者標目: NIEMCZYK, T.M.
FRANKE, J.E.
ZHANG, LIZHONG
HAALAND, D.M.
RADIGAN, K.J.
出版事項: Sandia National Laboratories(Sandia National Laboratories)
出版年月日等: 1993.
出版年（W3CDTF）: 1993
数量: 6
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/