INFRARED SENSOR FOR CVD DEPOSITION OF DIELECTRIC FILMS (SAND ; SAND-94-1262C)

INFRARED SENSOR FOR CVD DEPOSITION OF DIELECTRIC FILMS

(SAND ; SAND-94-1262C)

著者: NIEMCZYK, T.M.// FRANKE, J.E.// ZHANG, S.// HAALAND, D.M. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES))

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資料種別: 図書
タイトル: INFRARED SENSOR FOR CVD DEPOSITION OF DIELECTRIC FILMS
著者・編者: NIEMCZYK, T.M.// FRANKE, J.E.// ZHANG, S.// HAALAND, D.M. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES))
シリーズタイトル: SAND ; SAND-94-1262C
著者標目: NIEMCZYK, T.M.
FRANKE, J.E.
ZHANG, S.
HAALAND, D.M.
出版事項: Sandia National Laboratories(Sandia National Laboratories)
出版年月日等: 1994.
出版年（W3CDTF）: 1994
数量: 6
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/