CHARACTERIZATION AND ELECTRICAL PROPERTIES OF COPPER FILMS GROWN VIA DIRECT LIQUID COINJECTION OF (HFAC)CU(TMVS) AND TMVS (SAND ; SAND-94-1716)

CHARACTERIZATION AND ELECTRICAL PROPERTIES OF COPPER FILMS GROWN VIA DIRECT LIQUID COINJECTION OF (HFAC)CU(TMVS) AND TMVS

(SAND ; SAND-94-1716)

著者: PARMETER, J.E.// PETERSN, G.A.// APBLETT, C.A.// SMITH, P.M. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES))

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資料種別: 図書
タイトル: CHARACTERIZATION AND ELECTRICAL PROPERTIES OF COPPER FILMS GROWN VIA DIRECT LIQUID COINJECTION OF (HFAC)CU(TMVS) AND TMVS
著者・編者: PARMETER, J.E.// PETERSN, G.A.// APBLETT, C.A.// SMITH, P.M. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES))
シリーズタイトル: SAND ; SAND-94-1716
著者標目: PARMETER, J.E.
PETERSN, G.A.
APBLETT, C.A.
SMITH, P.M.
出版事項: Sandia National Laboratories(Sandia National Laboratories)
出版年月日等: 1994.
出版年（W3CDTF）: 1994
数量: 30
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/