ATOMIC FORCE MICROSCOPY AS A PROCESS CHARACTERIZATION TOOL FOR GAAS-BASED INTEGRATED CIRCUIT FABRICATION (SAND ; SAND-94-2426C)

ATOMIC FORCE MICROSCOPY AS A PROCESS CHARACTERIZATION TOOL FOR GAAS-BASED INTEGRATED CIRCUIT FABRICATION

(SAND ; SAND-94-2426C)

著者: HOWARD, A.J.// BACA, A.G.// SHUL, R.J.// ZOLPER, J.C.// SHERWIN, M.E.// RIEGER, D.J. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES))

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資料種別: 図書
タイトル: ATOMIC FORCE MICROSCOPY AS A PROCESS CHARACTERIZATION TOOL FOR GAAS-BASED INTEGRATED CIRCUIT FABRICATION
著者・編者: HOWARD, A.J.// BACA, A.G.// SHUL, R.J.// ZOLPER, J.C.// SHERWIN, M.E.// RIEGER, D.J. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES))
シリーズタイトル: SAND ; SAND-94-2426C
著者標目: HOWARD, A.J.
BACA, A.G.
SHUL, R.J.
ZOLPER, J.C.
SHERWIN, M.E.
RIEGER, D.J.
出版事項: Sandia National Laboratories(Sandia National Laboratories)
出版年月日等: 1995.
出版年（W3CDTF）: 1995
数量: 5
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/