COPPER CVD USING LIQUID COINJECTION OF (HFAC)CU(TMVS) AND TMVS (SAND ; SAND-94-2544C)

COPPER CVD USING LIQUID COINJECTION OF (HFAC)CU(TMVS) AND TMVS

(SAND ; SAND-94-2544C)

著者: CUSTER, J.S.// PETERSEN, G.A.// SMITH, P.M.// PARMETER, J.E.// APBLETT, C.A.// NORMAN, J.A.T.// HOCHBERG, A.K.// ROBERTS, D.A. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES))

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資料種別: 図書
タイトル: COPPER CVD USING LIQUID COINJECTION OF (HFAC)CU(TMVS) AND TMVS
著者・編者: CUSTER, J.S.// PETERSEN, G.A.// SMITH, P.M.// PARMETER, J.E.// APBLETT, C.A.// NORMAN, J.A.T.// HOCHBERG, A.K.// ROBERTS, D.A. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES))
シリーズタイトル: SAND ; SAND-94-2544C
著者標目: CUSTER, J.S.
PETERSEN, G.A.
SMITH, P.M.
PARMETER, J.E.
APBLETT, C.A.
NORMAN, J.A.T.
HOCHBERG, A.K.
ROBERTS, D.A.
出版事項: Sandia National Laboratories(Sandia National Laboratories)
出版年月日等: 1994.
出版年（W3CDTF）: 1994
数量: 5
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/