ENERGETIC ION BEAMS IN SEMICONDUCTOR PROCESSING: SUMMARY OF A DOE PANEL STUDY (SAND ; SAND-95-1453C)

ENERGETIC ION BEAMS IN SEMICONDUCTOR PROCESSING: SUMMARY OF A DOE PANEL STUDY

(SAND ; SAND-95-1453C)

著者: PICRAUX, S.T.// CCHASON, E.// POATE, J.M. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES))

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資料種別: 図書
タイトル: ENERGETIC ION BEAMS IN SEMICONDUCTOR PROCESSING: SUMMARY OF A DOE PANEL STUDY
著者・編者: PICRAUX, S.T.// CCHASON, E.// POATE, J.M. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES))
シリーズタイトル: SAND ; SAND-95-1453C
著者標目: PICRAUX, S.T.
CCHASON, E.
POATE, J.M.
出版事項: Sandia National Laboratories(Sandia National Laboratories)
出版年月日等: 1995.
出版年（W3CDTF）: 1995
数量: 10
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/