ECR ETCHING OF GAP, GAAS, INP, AND INGAAS IN CL/SUB 2//AR, CL/SUB 2//N/SUB 2/, BCL/SUB 3// AR, AND BCL/SUB 3//N/SUB 2/ (SAND ; SAND-96-1143C)

ECR ETCHING OF GAP, GAAS, INP, AND INGAAS IN CL/SUB 2//AR, CL/SUB 2//N/SUB 2/, BCL/SUB 3// AR, AND BCL/SUB 3//N/SUB 2/

(SAND ; SAND-96-1143C)

著者: SHUL, R.J.// BACA, A.G.// RIEGER, D.J.// HOU, H.// PEARTON, S.J.// REN, F. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES))

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資料種別: 図書
タイトル: ECR ETCHING OF GAP, GAAS, INP, AND INGAAS IN CL/SUB 2//AR, CL/SUB 2//N/SUB 2/, BCL/SUB 3// AR, AND BCL/SUB 3//N/SUB 2/
著者・編者: SHUL, R.J.// BACA, A.G.// RIEGER, D.J.// HOU, H.// PEARTON, S.J.// REN, F. (SANDIA NATIONAL LABS., ALBUQUERQUE, NM (UNITED STATES))
シリーズタイトル: SAND ; SAND-96-1143C
著者標目: SHUL, R.J.
BACA, A.G.
RIEGER, D.J.
HOU, H.
PEARTON, S.J.
REN, F.
出版事項: Sandia National Laboratories(Sandia National Laboratories)
出版年月日等: 1996.
出版年（W3CDTF）: 1996
数量: 6
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/