DEBRIS-FREE LASER PLASMA SOURCES FOR EUVL BASED ON GAS JETS (SAND ; SAND-96-8482C)

DEBRIS-FREE LASER PLASMA SOURCES FOR EUVL BASED ON GAS JETS

(SAND ; SAND-96-8482C)

著者: KUBIAK, G.D.// O'CONNELL, D.// KRENZ, K.D. (SANDIA NATIONAL LABS., LIVERMORE, CA (UNITED STATES))

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資料種別: 図書
タイトル: DEBRIS-FREE LASER PLASMA SOURCES FOR EUVL BASED ON GAS JETS
著者・編者: KUBIAK, G.D.// O'CONNELL, D.// KRENZ, K.D. (SANDIA NATIONAL LABS., LIVERMORE, CA (UNITED STATES))
シリーズタイトル: SAND ; SAND-96-8482C
著者標目: KUBIAK, G.D.
O'CONNELL, D.
KRENZ, K.D.
出版事項: Sandia National Laboratories(Sandia National Laboratories)
出版年月日等: 1996.
出版年（W3CDTF）: 1996
数量: 4
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/