RADIATION HARDNESS OF MO/SI MULTILAYERS DESIGNED FOR USE IN A SOFT X- RAY PROJECTION LITHOGRAPHY SYSTEM (UCRL ; UCRL-JC-111725)

RADIATION HARDNESS OF MO/SI MULTILAYERS DESIGNED FOR USE IN A SOFT X- RAY PROJECTION LITHOGRAPHY SYSTEM

(UCRL ; UCRL-JC-111725)

著者: GAINES, D.P.// SPITZER, R.C.// CEGLIO, N.M.// KRUMREY, M.// ULM, G. (LAWRENCE LIVERMORE NATIONAL LAB., CA (UNITED STATES))

出版者: University of California Research Laboratory(University of California Research Laboratory)

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資料種別: 図書
タイトル: RADIATION HARDNESS OF MO/SI MULTILAYERS DESIGNED FOR USE IN A SOFT X- RAY PROJECTION LITHOGRAPHY SYSTEM
著者・編者: GAINES, D.P.// SPITZER, R.C.// CEGLIO, N.M.// KRUMREY, M.// ULM, G. (LAWRENCE LIVERMORE NATIONAL LAB., CA (UNITED STATES))
シリーズタイトル: UCRL ; UCRL-JC-111725
著者標目: GAINES, D.P.
SPITZER, R.C.
CEGLIO, N.M.
KRUMREY, M.
ULM, G.
出版事項: University of California Research Laboratory(University of California Research Laboratory)
出版年月日等: 1992.
出版年（W3CDTF）: 1992
数量: 21
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/