QUARTZ SUBSTRATES FOR EUVL RETICLES (UCRL ; UCRL-JC-119907)

QUARTZ SUBSTRATES FOR EUVL RETICLES

(UCRL ; UCRL-JC-119907)

著者: KANIA, D.R.// WEBER, F.J.// VERNON, S.P.// HAWRYLUK, A.// BAKER, S.L.// GOLUB, A.M.// SHIKATA, A.// GRADY, E.C. (LAWRENCE LIVERMORE NATIONAL LAB., CA (UNITED STATES))

出版者: University of California Research Laboratory(University of California Research Laboratory)

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資料種別: 図書
タイトル: QUARTZ SUBSTRATES FOR EUVL RETICLES
著者・編者: KANIA, D.R.// WEBER, F.J.// VERNON, S.P.// HAWRYLUK, A.// BAKER, S.L.// GOLUB, A.M.// SHIKATA, A.// GRADY, E.C. (LAWRENCE LIVERMORE NATIONAL LAB., CA (UNITED STATES))
シリーズタイトル: UCRL ; UCRL-JC-119907
著者標目: KANIA, D.R.
WEBER, F.J.
VERNON, S.P.
HAWRYLUK, A.
BAKER, S.L.
GOLUB, A.M.
SHIKATA, A.
GRADY, E.C.
出版事項: University of California Research Laboratory(University of California Research Laboratory)
出版年月日等: 1995.
出版年（W3CDTF）: 1995
数量: 6
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/