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MECHANISM OF ELECTROMIGRATION FAILURE IN AL THIN FILM INTERCONNECTS CONTAINING SC (UCRL ; UCRL-JC-120337)

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MECHANISM OF ELECTROMIGRATION FAILURE IN AL THIN FILM INTERCONNECTS CONTAINING SC

(UCRL ; UCRL-JC-120337)

資料種別
図書
著者
KIM, CHOONG-UN// KANG, S.H.// MORRIS, J.W. JR.// GENIN, F.Y. (LAWRENCE LIVERMORE NATIONAL LAB., CA (UNITED STATES))
出版者
University of California Research Laboratory(University of California Research Laboratory)
出版年
1995.
資料形態
ページ数・大きさ等
8
NDC
-
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資料種別
図書
著者・編者
KIM, CHOONG-UN// KANG, S.H.// MORRIS, J.W. JR.// GENIN, F.Y. (LAWRENCE LIVERMORE NATIONAL LAB., CA (UNITED STATES))
シリーズタイトル
出版年月日等
1995.
出版年(W3CDTF)
1995
数量
8
出版地(国名コード)
us