PRECISION OPTICAL ASPHERES FOR EXTREME ULTRAVIOLET LITHOGRAPHY (UCRL ; UCRL-JC-123033)

PRECISION OPTICAL ASPHERES FOR EXTREME ULTRAVIOLET LITHOGRAPHY

(UCRL ; UCRL-JC-123033)

著者: KANIA, D.R.// GAINES, D.P.// SWEENEY, D.S.// SOMMARGREN, G.E.// LA FONTAINE, B.// VERNON, S.P.// TICHNOR, D.A.// BJORKHOLM, J.E.// ZERNIKE, F.// KESTNER, R.N. (LAWRENCE LIVERMORE NATIONAL LAB., CA (UNITED STATES))

出版者: University of California Research Laboratory(University of California Research Laboratory)

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資料種別: 図書
タイトル: PRECISION OPTICAL ASPHERES FOR EXTREME ULTRAVIOLET LITHOGRAPHY
著者・編者: KANIA, D.R.// GAINES, D.P.// SWEENEY, D.S.// SOMMARGREN, G.E.// LA FONTAINE, B.// VERNON, S.P.// TICHNOR, D.A.// BJORKHOLM, J.E.// ZERNIKE, F.// KESTNER, R.N. (LAWRENCE LIVERMORE NATIONAL LAB., CA (UNITED STATES))
シリーズタイトル: UCRL ; UCRL-JC-123033
著者標目: KANIA, D.R.
GAINES, D.P.
SWEENEY, D.S.
SOMMARGREN, G.E.
LA FONTAINE, B.
VERNON, S.P.
TICHNOR, D.A.
BJORKHOLM, J.E.
ZERNIKE, F.
KESTNER, R.N.
出版事項: University of California Research Laboratory(University of California Research Laboratory)
出版年月日等: 1996.
出版年（W3CDTF）: 1996
数量: 13
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/