Mask ring assembly for x-ray lithography (US PRIORITY ; US PRIORITY 568776)

Mask ring assembly for x-ray lithography

(US PRIORITY ; US PRIORITY 568776)

出版者: Perkin-Elmer Corp., Norwalk, CT (USA)(Perkin-Elmer Corp., Norwalk, CT (USA))

国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。

所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください

その他

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

資料種別: 図書
タイトル: Mask ring assembly for x-ray lithography
シリーズタイトル: US PRIORITY ; US PRIORITY 568776
著者標目: Deschenaux, W.
Hughes, G.
Kreuzer, J.
La Fiandra, C.
出版事項: Perkin-Elmer Corp., Norwalk, CT (USA)(Perkin-Elmer Corp., Norwalk, CT (USA))
出版年月日等: 1985.
出版年（W3CDTF）: 1985
数量: 4 p.
出版地（国名コード）: uk
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/