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PLASMA SURFACE CLEANING USING MICROWAVE PLASMAS (Y ; Y/DV-1298)

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PLASMA SURFACE CLEANING USING MICROWAVE PLASMAS

(Y ; Y/DV-1298)

資料種別
図書
著者
TSAI, C.C.// HASELTON, H.H.// NELSON, W.D.// SCHECHTER, D.E.// THOMPSON, L.M.// CAMPBELL, V.B.// GLOVER, A.L.// GOOGIN, J.M. (OAK RIDGE Y-12 PLANT, TN (UNITED STATES))
出版者
-
出版年
1993.
資料形態
ページ数・大きさ等
15
NDC
-
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資料種別
図書
著者・編者
TSAI, C.C.// HASELTON, H.H.// NELSON, W.D.// SCHECHTER, D.E.// THOMPSON, L.M.// CAMPBELL, V.B.// GLOVER, A.L.// GOOGIN, J.M. (OAK RIDGE Y-12 PLANT, TN (UNITED STATES))
シリーズタイトル
出版年月日等
1993.
出版年(W3CDTF)
1993
数量
15
対象利用者
一般
連携機関・データベース
日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース