A statistical study of the combined effects of substrate temperature, bias, annealing, and a Cr/sub 3/Si/sub 2/ undercoating on the tribological properties of rf-sputtered MoS/sub 2/ coatings (Sandia report ; SAND-86-2555C; CONF-870388-2; DE87007086)

A statistical study of the combined effects of substrate temperature, bias, annealing, and a Cr/sub 3/Si/sub 2/ undercoating on the tribological properties of rf-sputtered MoS/sub 2/ coatings

(Sandia report ; SAND-86-2555C; CONF-870388-2; DE87007086)

資料種別: 図書

著者: Panitz, J.K.G., Pope, L.E., Hills, C.R. [et al.]

出版者: Sandia National Labs.

出版年: 1987.01.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 16p

NDC: -

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資料種別: 図書
タイトル: A statistical study of the combined effects of substrate temperature, bias, annealing, and a Cr/sub 3/Si/sub 2/ undercoating on the tribological properties of rf-sputtered MoS/sub 2/ coatings
著者・編者: Panitz, J.K.G., Pope, L.E., Hills, C.R. [et al.]
シリーズタイトル: Sandia report ; SAND-86-2555C; CONF-870388-2; DE87007086
著者標目: Panitz, J.K.G.
Pope, L.E.
Hills, C.R.
Lyons, J.E.
Staley, D.J.
出版事項: Albuquerque, NM (USA) : Sandia National Labs.
出版年月日等: 1987.01.
数量: 16p
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/