Characterization of buried-nitride silicon for integrated circuit applications (Sandia report ; SAND-86-2593C; CONF-870438-13; DE87008644)

Characterization of buried-nitride silicon for integrated circuit applications

(Sandia report ; SAND-86-2593C; CONF-870438-13; DE87008644)

出版者: Sandia National Labs., New Mexico Univ., Dept. of Chemical and Nuclear Engineering

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資料種別: 図書
タイトル: Characterization of buried-nitride silicon for integrated circuit applications
著者・編者: Myers, D.R., Stein, H.J., Tsao, S.S. [et al.]
シリーズタイトル: Sandia report ; SAND-86-2593C; CONF-870438-13; DE87008644
著者標目: Myers, D.R.
Stein, H.J.
Tsao, S.S.
Arnold, G.W.
Hughes, R.C.
Miller, W.M.
Jones, R.V.
Datye, A.K.
出版事項: Albuquerque, NM (USA) : Sandia National Labs., New Mexico Univ., Dept. of Chemical and Nuclear Engineering
出版年月日等: 1987.01.
数量: 6p
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/