Formation of buried nitride layers in (110) silicon (SAND ; SAND-87-1586C; CONF-871124-42; DE88003255)

Formation of buried nitride layers in (110) silicon

(SAND ; SAND-87-1586C; CONF-871124-42; DE88003255)

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資料種別: 図書
タイトル: Formation of buried nitride layers in (110) silicon
著者・編者: Datye, A.K., Kaushik, V.S., Kendall, D.L. [et al.]
シリーズタイトル: SAND ; SAND-87-1586C; CONF-871124-42; DE88003255
著者標目: Datye, A.K.
Kaushik, V.S.
Kendall, D.L.
Martinez-Tovar, B.
Myers, D.R.
出版事項: Albuquerque, NM (USA) : Sandia National Labs., New Mexico Univ.
出版年月日等: 1987.1.
出版年（W3CDTF）: 1987
数量: 7p
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/