A comparison of the step coverage of aluminum coatings produced by two sputter magnetron systems and a dual beam ion system (SAND ; SAND-87-2524C; CONF-880488-6; DE89003400)

A comparison of the step coverage of aluminum coatings produced by two sputter magnetron systems and a dual beam ion system

(SAND ; SAND-87-2524C; CONF-880488-6; DE89003400)

資料種別: 図書

著者: Panitz, J.K.G., Draper, B.L., Curlee, R.M.

出版者: Sandia National Labs.

出版年: 1987.1.

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 17p

NDC: -

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資料種別: 図書
タイトル: A comparison of the step coverage of aluminum coatings produced by two sputter magnetron systems and a dual beam ion system
著者・編者: Panitz, J.K.G., Draper, B.L., Curlee, R.M.
シリーズタイトル: SAND ; SAND-87-2524C; CONF-880488-6; DE89003400
著者標目: Panitz, J.K.G.
Draper, B.L.
Curlee, R.M.
出版事項: Albuquerque, NM (USA) : Sandia National Labs.
出版年月日等: 1987.1.
出版年（W3CDTF）: 1987
数量: 17p
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/