Ion beam modification of film stress and the effectiveness of thin film encapsulants on GaAs (SAND ; SAND-87-2870C; CONF-871124-49; DE88004458)

Ion beam modification of film stress and the effectiveness of thin film encapsulants on GaAs

(SAND ; SAND-87-2870C; CONF-871124-49; DE88004458)

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資料種別: 図書
タイトル: Ion beam modification of film stress and the effectiveness of thin film encapsulants on GaAs
著者・編者: Haynes, T.E., Picraux, S.T., Lee, S.R. [et al.]
シリーズタイトル: SAND ; SAND-87-2870C; CONF-871124-49; DE88004458
著者標目: Haynes, T.E.
Picraux, S.T.
Lee, S.R.
Chu, W.K.
出版事項: Chapel Hill (USA), Albuquerque, NM (USA) : North Carolina Univ., Sandia National Labs.
出版年月日等: 1987.1.
出版年（W3CDTF）: 1987
数量: 7p
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: eng
対象利用者: 一般
連携機関・データベース: 日本原子力研究開発機構 : 日本原子力研究開発機構所蔵目録データベース
https://library-documents.jaea.go.jp/opac/opac_search/