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A mathematical model of the gas-phase and surface chemistry in GaAs MOCVD (SAND ; SAND-88-3049C; CONF-890426-4; DE89010228)

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A mathematical model of the gas-phase and surface chemistry in GaAs MOCVD

(SAND ; SAND-88-3049C; CONF-890426-4; DE89010228)

資料種別
図書
著者
Coltrin, M.E., Kee, R.J.
出版者
Sandia National Labs.
出版年
1989.1.
資料形態
ページ数・大きさ等
6p
NDC
-
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資料種別
図書
著者・編者
Coltrin, M.E., Kee, R.J.
出版年月日等
1989.1.
出版年(W3CDTF)
1989
数量
6p
出版地(国名コード)
us