電気的特性によるＴｉスパッタ薄膜／Ｓｉ，ＧａＡｓ接触界面に関する研究 39 (秋田工業高等専門学校研究紀要)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- タイトルよみ
- でんきてきとくせいによるＴｉすぱったはくまく Ｓｉ ＧａＡｓせっしょくかいめんにかんするけんきゅう
- 巻次・部編番号
- 39
- 著者・編者
- 東海林 実，浅野 清光
- シリーズタイトル
- 著者標目
- 東海林 実，浅野 清光 しょうじ みのる あさの きよみつ
- 出版年月日等
- 平成16年2月
- 出版年（W3CDTF）
- 2004-02
- 掲載ページ
- 93～99ページ