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書誌情報
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- 資料種別
- 雑誌
- ISSN
- 21662746
- 出版年月日等
- 1991-
- 出版年(W3CDTF)
- 1991
- 刊行状態
- 継続刊行中
- 刊行頻度
- 隔月刊
- 大きさ
- 29 cm
- 並列タイトル等
- Journal of vacuum science and technology. B, 2nd series. Nanotechnology & microelectronics: mateials, processing, mesurement, & phenomenaJVSTB, Nanotechnology & microelectronics