Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena

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資料種別: 雑誌
ISSN: 21662746
タイトル: Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena
出版事項: American Institute of Physics
出版年月日等: 1991-
出版年（W3CDTF）: 1991
刊行状態: 継続刊行中
刊行頻度: 隔月刊
大きさ: 29 cm
並列タイトル等: Journal of vacuum science and technology. B, 2nd series. Nanotechnology & microelectronics: mateials, processing, mesurement, & phenomena
JVSTB, Nanotechnology & microelectronics
出版地（国名コード）: us
本文の言語コード: en
対象利用者: 一般
CODEN: JVTBD9
関連情報（URI）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/AA10804928#entity
連携機関・データベース: 国立情報学研究所 : CiNii Research
https://cir.nii.ac.jp/
提供元機関・データベース: CiNii Books
https://ci.nii.ac.jp/books
NACSIS書誌ID（NCID）: https://ci.nii.ac.jp/ncid/AA10804928 : AA10804928